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发布时间:2019-12-26 22:58:22
万级电子无尘车间厂房特点: 洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊无尘车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。
化妆品无尘车间微生物的污染与控制首先要从生产工艺厂房布局入手,净化工程的空气质量,人员管理以及化妆品所需设备和仪器非常重要。化妆品的生产质量与所处环境密切相关。
风淋室维护的要点:
1、定期使用仪器测定设备的各项技术指标,净化车间厂家,如不符合技术参数要求应及时予以处理。
2、根据实际使用情况,定期将初效金田空气过滤器中的滤料取下清洗。
3、当发现风速变小时应首先检查初效空气过滤器表面是否发黑,若发黑则说明预过滤器容尘较多,阻力增大,即应拆下初效空气过滤器内的无纺布进行清洗或予以调换。
4、当调换或清洗无纺布后,仍不能提高风速则说明***空气过滤器已经堵塞,造成阻力增大,则应更换***空气过滤器。
洁净室中的温湿度控制:
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,净化车间工程,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,净化车间施工,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,济宁净化车间,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产蕞佳温度范围为35—45%。
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